PDMS是一種常見的有機聚合物材料，以其原材料價格便宜、制作周期短、耐用性好、封裝方法靈活及其與多種材料能形成很好的密封等特點，在電子醫學等多方面有巨大的運用前景。
微流控PDMS芯片通常采用等離子體處理的方法來獲得。采用等離子清洗機來鍵合微流控PDMS芯片，不同的工藝參數將會影響到PDMS芯片的鍵合強度。良好的鍵合牢固的芯片的耐壓強度可以達到3-5 bars的耐壓值。
本次，我們使用實驗室常規小型等離子清洗機PLUTO-T型作為實驗設備，對PDMS鍵合進行實驗
PLUTO-T具有性能穩定、性價比高、操作簡便、使用成本極低、易于維護的特點。對各種幾何形狀、表面粗糙程度各異的金屬、陶瓷、玻璃、硅片、塑料等物件表面進行超清洗和改性。完全徹底地清除樣品表面的有機污染物。
1. 桌面型，性能穩定、操作簡便、使用成本極低、易于維護，高性價比。
2.小身材，大容量，有效處理面積大
3.采用氣浴電極，清洗效率高。
4.可選擇40KHz或13.56MHz等離子發生器。
5.對各種幾何形狀、表面粗糙程度各異的金屬、陶瓷、玻璃、硅片、塑料等物件表面進行超清洗和表面改性。
技術參數：
1. 真空腔規格: 不銹鋼腔體,直徑150mm*(深)245mm
2. 電極：平板氣浴電極，材質6061-T6鋁合金
3. 電極尺寸：95*170mm
4. 頻率：40KHz (可選配13.56MHz射頻等離子源)
5. 功率：0-300W連續可調，精度1W,可在設備運行中隨時調整參數
6. 氣體控制：針式氣體流量閥， 0-300ml 1路氣體
7. 真空計：電偶式真空計，精度：0.01mTor
8.控制方式：4.3寸工業控制觸摸屏，全手動控制和全自動控制兩種控制方式
