1. 真空腔規格: 不銹鋼腔體,直徑150mm*(深)245mm
2. 電極:平板氣浴電極,材質6061-T6鋁合金
3. 電極尺寸:95*170mm
4. 頻率:40KHz (可選配13.56MHz射頻等離子源)
5. 功率:0-200W連續可調,精度1W,可在設備運行中隨時調整參數
6. 氣體控制:針式氣體流量閥, 0-300ml 1路氣體
7. 真空計:電偶式真空計,精度:0.01mTor
8. 控制方式:4.3寸工業控制觸摸屏,全手動控制和全自動控制兩種控制方式
控制軟件功能:界面顯示實時工作狀態